Es gibt viele Arten von Aluminiumoxid auf dem Markt, die in verschiedenen Bereichen eingesetzt werden.
Zum Läppen von Siliziumwafern wird normalerweise plättchenförmiges weißes kalziniertes Aluminiumoxid verwendet, das plattenförmig ist und die Spezifikation wie folgt lautet:
DURCHSCHNITTLICHE CHEMISCHE ZUSAMMENSETZUNG (TYPISCH)
Al 2 O 3 > 99,0 %
SiO2 ＜ 0,2 %
Fe2O3<0,1 %
Na2O ＜ 1 %
PHYSIKALISCHE EIGENSCHAFTEN ( TYPISCH )
Mohs-Härte 9,0
Spezifisches Gewicht > 3,9 g/cm 3
Form: Plattenförmig
PARTIKELGRÖSSENVERTEILUNG
| GRÖSSE | D0 | D3 | D50 | D94 |
| GEWICHT/WCA40 | <77,6 | 39-44,6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
| PWA/WCA35 | <64,2 | 35,4-39,8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
| GEWICHT/WCA30 | <50,4 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
| PWA/WCA25 | <40,1 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
| GEWICHT/WCA20 | <32,0 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8,2-9,8 |
| GEWICHT/WCA15 | <25,2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5,8-6,8 |
| GEWICHT/WCA12 | <20,3 | 11.8-13.8 | 7,6-8,8 | 4,5-5,3 |
| PWA/WCA09 | <16.3 | 8,9-10,5 | 5,9-6,9 | 3.3-3.9 |
| PWA/WCA05 | <12,5 | 6,6-7,8 | 4.3-5.1 | 2,55-3,05 |
| PWA/WCA03 | <10,0 | 4,8-5,6 | 2,8-3,4 | 1,5-2,1 |
