Spezifikation der PWA zum Läppen von Siliziumwafern
PWA=Plättchenweißes Aluminiumoxid
Zhengzhou Haixu Abrasives Co., Ltd. wurde 1999 gegründet.
Ab 2018 begannen wir mit der Produktion von plättchenförmigem weißem Aluminiumoxid, einschließlich der Größe PWA40, PWA35, PWA25, PWA20, PWA15, PWA12, PWA9, PWA5, PWA3.
Die Spezifikation von PWA zum Läppen von Siliziumwafern lautet wie folgt:
PSD (Partikelgrößenverteilung)
| Größe | dv-0 | dv-3 | dv-50 | dv-94 |
| MCA15 | <25,2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5,8-6,8 |
| MCA12 | <20.3 | 11.8-13.8 | 7,6-8,8 | 4,5-5,3 |
| MCA09 | <16.3 | 8,9-10,5 | 5,9-6,9 | 3.3-3.9 |
Chemische Zusammensetzung
| AL2OR3 | SiO2 | Fe2O3 | Um2Von |
| >99,0 | <0,2 | <0,1 | <1 |
