ALUMINIUMOXIDGRÖSSEN ZUM LÄPPEN VON SILIZIUMWAFERN
Es gibt viele Arten von Aluminiumoxid auf dem Markt.
Aufgrund der Herstellungstechnik gibt es kalziniertes Aluminiumoxid und geschmolzenes Aluminiumoxid.
Je nach Kristallphase gibt es α-Aluminiumoxid und β-Aluminiumoxid.
Welche Art von Aluminiumoxid wird dann zum Läppen von Siliziumwafern verwendet?
Es handelt sich um eine Art weißes plättchenförmiges kalziniertes Aluminiumoxid, das Zhengzhou Haixu abrasive Co., Ltd. viele Jahre lang produziert hat und dessen Qualität der von JAPAN FUJIMI und dem USA Microgrit WCA ähnelt.
Die Größen, die Haixu-Schleifmittel produzieren, sind wie folgt?
| GRÖSSE | D0 | D3 | D50 | D94 |
| HX-PWA/WCA40 | <77,6 | 39-44,6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
| HX-PWA/WCA35 | <64,2 | 35,4-39,8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
| HX-PWA/WCA30 | <50,4 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
| HX-PWA/WCA25 | <40,1 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
| HX-PWA/WCA20 | <32,0 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8,2-9,8 |
| HX-PWA/WCA15 | <25,2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5,8-6,8 |
| HX-PWA/WCA12 | <20,3 | 11.8-13.8 | 7,6-8,8 | 4,5-5,3 |
| HX-PWA/WCA09 | <16.3 | 8,9-10,5 | 5,9-6,9 | 3.3-3.9 |
| HX-PWA/WCA05 | <12,5 | 6,6-7,8 | 4.3-5.1 | 2,55-3,05 |
| HX-PWA/WCA03 | <10,0 | 4,8-5,6 | 2,8-3,4 | 1,5-2,1 |
Darin werden HX-PWA/WCA09, HX-PWA/WCA12 und HX-PWA/WCA15 häufig zum Läppen von Siliziumwafern verwendet.
